активируемые плазмой отложения в паровой фазе

 

активируемые плазмой отложения в паровой фазе
—
[А.С.Гольдберг. Англо-русский энергетический словарь. 2006 г.]

Тематики

• энергетика в целом

EN

• plasma activated vapor deposition
• PAVD